MEMS超声波传感器芯片及阵列:
基于MEMS工艺开发,具有尺寸小、功耗低、可靠性好、一致性高、可阵列化的优点;
可广泛应用于汽车近距探测和泊车辅助、智能机器人的测距避障、无人机的近地高度测量、工业产品的液位和流量测量等场合,具有广阔的市场前景。
MEMS超声波传感器性能指标:
主要参数
本项目产品
尺寸
裸芯6.8mm×6.8mm
谐振频率
300kHz
工作电压
4~8Vp-p
接收电路增益
60dB(1000倍)
检测分辨率
0.1mm
最大检测距离
1~3m
指向性
7.7°